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実例・実績 EVトラップ Case3

東製のEVトラップは

  • ドライ真空ポンプトラブル防止対策
  • CVD、PVD、エッチング
  • イオン注入、単結晶引き上げ装置

にお役立ちします

お困りごと
  • 突発的なドライ真空ポンプトラブルにより生産ラインが停止する。
  • 油回転真空ポンプ機内の油に異物が混入して交換メンテナンス頻度が多い。
東製株式会社のご提案

ドライ真空ポンプ前段にEVトラップを設置して真空ポンプ機内への異物混入を防止する。

ここがポイント

EVトラップから真空ポンプ機内への異物混入を防止すること、EVトラップ自体のエレメント詰りのバランスをとること、この二つが非常に重要となります。
捕捉率を上げるとエレメント詰りが早くなり、詰りを軽減すると異物の捕捉効率が悪くなります。東製では打合せとテストを積み重ねて、最適な選定をご提案しております。

担当者から一言

今までの実績によるノウハウと現地テストにより、最適なご提案をいたします。
またエレメント寿命サイクル延長のオプションとして、逆圧力洗浄とドレン排出掃除口取付により、捕捉効率向上とロングサイクル運転を可能としました。

お客様満足の声
  • EVトラップを導入する前は、頻繁に真空ポンプの突発的な故障・トラブルが発生していたがEVトラップ導入後、トラブルが無くなり計画的な生産工程が進められた。
  • 油回転真空ポンプの油交換頻度が、減少して時間効率UPと油廃棄処分費削減によりランニングコストが低減できました。

※実績・実例は、ほんの1例です。上記以外にも様々なご提案がありますので、ご相談・
 ご質問等ありましたら当社までお気軽にご連絡ください。

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